基本結構：隔膜真空泵通過膜片的變形來牽引泵體內混合氣體，從高壓區將其壓縮到低壓區，隔膜上的抽氣口和吐氣口的設計比例決定了它的抽吸效率，它的容積變化范圍決定了泵的效率和無油承載。

　　

　　優點：隔膜真空泵具有緊湊的外觀，體積小，運行時的震動小，性能穩定，真空度可以非常低，易于操作等優點。

　　

　　適用范圍：隔膜真空泵適用于抽吸各種不同性質、不同氣體，如空氣、氮氣等，用于實驗室或化工設備的真空度要求很高的地方。例如，制造各種壓力容器、分子篩除塵、除水、氧化、蒸餾等。

　　

　　隔膜真空泵可以用于負壓抽取絲印、激光切割工藝、生物軟件應用、玻璃消泡、屏蔽室及封裝工藝，分子泵管真空吹塑，機電一體化，等等。此外，在一些常溫實驗條件下，隔膜真空泵也可以用于抽吸低溫條件下設備的氣體抽取。隔膜真空泵也應用于抽吸有毒有害氣體，或火災時應急抽取有毒有害氣體的地方。