在循環水真空泵的使用過程中偶爾會發生故障，然而很多人對此束手無策，下面我們就來分析下常見的故障及原因。
　　(1)真空泵不轉。情況不明不能先開泵，以免加重故障。用手能盤動和不能盤動。
　　①真空泵泵能盤動而不轉。原因可以是聯軸器故障;皮帶打滑;電機接線有誤;電機損壞;電源沒電等。
　　②不能盤動或盤起來很重的，原因可以是因為起動泵溫太低，泵油粘度太高;設計制造原因的停泵返油太多。油位太高引起的停泵返油太多(加油太多，或有水汽在泵中凝結，或在排氣管中凝結的水流回泵中);有異物在泵內(進氣管中的焊渣、氧化物;旋片彈簧等泵零件的碎屑;旋片變形卡住;發生了咬合(銅套、轉子、中壁、泵蓋、定子、軸承)。
　　(2)循環水真空泵溫太高。指低級排氣閥附近測得的很高油溫超過使用說明書規定值。由于泵溫升高會使泵油粘度大幅下降，并使泵油的飽和蒸汽壓升高，使泵的極限壓力升高和抽氣效率下降;使橡膠件容易老化;熱膨脹使運轉間隙縮小，特別是某些非金屬旋片的厚度方向和銅套內孔間隙，影響泵運轉的可靠性。泵溫太高的原因可以是泵環境溫度太高，進氣溫度太高，進氣冷卻裝置失效，泵長期連續運轉入口壓力太高;水冷泵冷卻水量不足，循環水設計效果不佳;溫控水量調節閥失效等。
　　(3)循環水真空泵漏油。可以發生在軸封，油箱與泵零部件的密封面，放油塞、油標、油孔悶頭、定子部件與支座的通孔連接處，氣鎮閥(例如2X-8)等部位。可由密封件老化，安裝不當，損壞失效，表面不平整、有雜質、粗糙和鑄件疏松等引起。如果停泵后返油，油會進入氣鎮閥，不關氣鎮閥可能會漏油。
　　自制橡膠墊時，一定要用耐油橡膠，要按照原設計形狀，密封面太大時壓不緊會漏油。
　　(4)循環水真空泵漏水可以發生在水管接頭，水套悶蓋平面，放水孔螺塞，放水閥等處，水套鉆穿，鑄件缺陷，凍裂，也可能導致漏水。
　　(5)大功率超標。可由長期連續作入口壓力太高、排氣壓力太高、雜物進人發生咬合、泵溫太高、旋片等配合間隙太小、電壓太高、泵液返入泵內太多等引起，會使電機損壞。應盡量避免在大功率附近長期連續運轉。如果表面有沉積物，要定期拆開清除。